EV Group GmbH

Produkte

EV Group entwickelt, fertigt und vertreibt komplette Prozesslinien für die Mikro- und Nanostrukturierung und Waferbearbeitung*:
 

  • Wafer Bonding Systeme
  • Bond Alignment Systeme
  • Integrierte Bonding Systeme
  • SOI Bonding Systeme
  • Temporäre Bonder und Debonder für Dünnwafer-Prozessierung
  • Mask Aligner
  • Belacker und Entwickler
  • Reiniger
  • Inspektionssysteme
  • Lithographie Track Systeme
  • Nanoimprint Lithographie Systeme
  • Hot Embossing Systeme
  • Prozess Entwicklung

Die Fertigung erfolgt zur Gänze in Österreich am Firmenhauptsitz in St. Florian am Inn.

*Ein Wafer ist eine Scheibe aus einem Halbleiterbaumaterial (z.B. Silizium) und das Ausgangsmaterial in der Chipindustrie.

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