Produkte
EV Group entwickelt, fertigt und vertreibt komplette Prozesslinien für die Mikro- und Nanostrukturierung und Waferbearbeitung*:
- Wafer Bonding Systeme
- Bond Alignment Systeme
- Integrierte Bonding Systeme
- SOI Bonding Systeme
- Temporäre Bonder und Debonder für Dünnwafer-Prozessierung
- Mask Aligner
- Belacker und Entwickler
- Reiniger
- Inspektionssysteme
- Lithographie Track Systeme
- Nanoimprint Lithographie Systeme
- Hot Embossing Systeme
- Prozess Entwicklung
Die Fertigung erfolgt zur Gänze in Österreich am Firmenhauptsitz in St. Florian am Inn.
*Ein Wafer ist eine Scheibe aus einem Halbleiterbaumaterial (z.B. Silizium) und das Ausgangsmaterial in der Chipindustrie.

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